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总投资超5000亿元！广东要争中国MEMS传感器第一
当前，广东省在建拟建的集成电路重大项目近40个左右，总投资超过了5000亿元。按照国家部署，广东正加强产业布局，已基本形成了以广州、深圳、珠海为核心，带动佛山、东莞等地协同发展的3+n的产业格局。其中，增芯MEMS产线、粤芯三期项目、方正微电子产业化基地是投资超过百亿级别的重头项目，对补齐半导体产业链各个领域的短板具有重要意义，更在部分细分赛道力争第一。 更多详情 >>
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「中科微感」新一代 MEMS 基气味传感器已实现量产
我国的气味数字化产业在多个领域处于空白，目前市场上基本是以单一气体检测的气体传感器为主。中科微感的传感器产品，由完全国内自主研发生产设计的MEMS气体传感器、MEMS气体传感阵列模组、MEMS智能气味识别模块和MEMS智能气味芯片组成。现阶段，中科微感的单一MEMS气体传感器主要面向粮仓、储能等传统市场，并进一步开发玩具、3C、冰箱、空调以及宠物等新应用场景。
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飞秒激光辅助制造石英晶体MEMS谐振器
谐振石英器件实现了高机械品质因数（Q），并提供了每摄氏度约0.6ppm的频率-温度稳定性。有利于利用石英作为衬底来制造不同类型的中、微尺度（MEMS）器件，例如用于定时应用和频率控制的音叉谐振器，以及作为质量、气体和湿度传感器等。石英在谐振加速度计和陀螺仪等高端惯性传感器、压力传感器、电场和磁场探测器以及超精密化学天平（石英晶体微天平）中也是不可或缺的。
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