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基于金属腐蚀效应的柔性电化学压力传感器
柔性可穿戴力学传感器在多种新兴领域扮演着重要角色，但这类力学传感器通常只对动态或瞬态的机械刺激产生响应，而难以用于监测静态或者缓慢变化的力学刺激。因此，如何设计、构建一种不依赖外部电源，且具有良好的静态刺激监测能力的传感原理和器件，具有重要的理论研究意义和实际应用价值。 更多详情 >>
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柔性压力传感器中的微形态工程及其人工智能应用
柔性压力传感器是可穿戴器件中不可或缺的一部分，其可以反映压力强度、持续时间、间隔及频率等信号，具有高度柔性、低成本以及适于高度集成应用等特点。传感材料的微结构化设计很大程度上决定着活性层的表面积、可形变空间和形变能力等特性，对传感性能有着重要影响。
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微差压MEMS压力传感器国产化芯片技术取得重要突破
由于1kPa至10kPa量程的微差压力传感器的灵敏度很高，需要在制造中精确控制厚度非常薄的压力敏感膜片，加工过程中对成品率和一致性的控制难度远超一般量程的压力传感器。目前以“键合-减薄”为特征的国内传统压力传感器制造工艺，需将数百微米厚的晶圆减薄至数微米厚。
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六轴力/六维力传感器在工业打磨和装配领域的应用
六维力传感器在工业级中的主要应用领域是装配和磨削，打磨是机器人广泛应用的领域之一。根据目前的市场情况，对打磨精度要求较高的行业主要是3C行业，而3C行业劳动力密集程度高，实施自动化改造势在必行。随着5G时代的到来，在大数据和物联网的有力支持下，加工制造的整个产业链将越来越精细，“柔性”将成为未来工业加工制造的核心竞争力。
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